Speaker
Dr
László Deák
(NKE HHK Természettudományi Tanszék)
Description
A mikroelektronika fejlődése forradalmi változásokat okozott életünkben, így a vékonyrétegek vizsgálati módszereinek fejlesztése az anyagtudományi kutatások fókuszába került. Roncsolásmentes vizsgálatok jól ismert képviselője a rugalmas szóráson alapuló reflektometria, amelynek során valamilyen részecske (hullám) felületről való visszaverődését vizsgáljuk. Az előadásban atomi méretű rétegekből álló szerkezetek spekuláris és diffúz, neutron- ill. Röntgen-szórását fogjuk áttekinteni. Bemutatjuk a rétegek osztályozására alkalmas, reflektometriailag kinyerhető információkat.
Primary author
Dr
László Deák
(NKE HHK Természettudományi Tanszék)