Vékonyrétegek vizsgálata reflektometria módszerekkel

25 Aug 2023, 14:15
15m
Normál előadás (12+3 perces) Kísérleti fizika és alkalmazott matematika

Speaker

Dr László Deák (NKE HHK Természettudományi Tanszék)

Description

A mikroelektronika fejlődése forradalmi változásokat okozott életünkben, így a vékonyrétegek vizsgálati módszereinek fejlesztése az anyagtudományi kutatások fókuszába került. Roncsolásmentes vizsgálatok jól ismert képviselője a rugalmas szóráson alapuló reflektometria, amelynek során valamilyen részecske (hullám) felületről való visszaverődését vizsgáljuk. Az előadásban atomi méretű rétegekből álló szerkezetek spekuláris és diffúz, neutron- ill. Röntgen-szórását fogjuk áttekinteni. Bemutatjuk a rétegek osztályozására alkalmas, reflektometriailag kinyerhető információkat.

Primary author

Dr László Deák (NKE HHK Természettudományi Tanszék)

Presentation materials

There are no materials yet.